如题所述
1.éåç³ãç±»éåç³ï¼DLCï¼æ¶å±
éåç³æ¶å±æ¯æ°ååå ·æ¶å±ææä¹ä¸ãå®å©ç¨ä½ååå¦æ°ç¸æ²ç§¯ææ¯å¨ç¡¬è´¨åéåºä½ä¸çé¿åºä¸å±ç±å¤æ¶ç»æçéåç³èï¼ç¨å ¶å å·¥ç¡ éåéåéåéçæè²éå±ãç»ç纤维çå·¥ç¨ææå硬质åéçææï¼åå ·å¯¿å½æ¯æ®é硬质åéåå ·ç50ï½100åãéåç³æ¶å±éç¨äºè®¸å¤éåç³åæææ¯ï¼ææ®éçæ¯çä¸æ³ã微波ç离åæ³åDCç离åå·å°æ³ãéè¿æ¹è¿æ¶å±æ¹æ³åæ¶å±çç²ç»ï¼å·²ç产åºéåç³æ¶å±åå ·ï¼å¹¶å¨å·¥ä¸ä¸å¾å°äºåºç¨ã
è¿å¹´æ¥ï¼ç¾å½ãæ¥æ¬åçå ¸çå½å®¶é½å·²ç¸ç»§æ¨åºäºéåç³æ¶å±çä¸é¥ãé°åãé£å以åç¨äºå å·¥å°å·çº¿è·¯æ¿ä¸çå°åéåç³æ¶å±ç¡¬è´¨åéé»å¤´ååç§å¯è½¬ä½åçï¼å¦çå ¸Sandvikå ¬å¸çCD1810åç¾å½Kennametalå ¬å¸çKCD25ççå·äº§åãç¾å½Turchanå ¬å¸å¼åçä¸ç§æ¿å ç离åä½æ²ç§¯éåç³çæ°å·¥èºï¼ç¨æ¤æ³æ²ç§¯éåç³ï¼ç±äºç离ååºå å´æ´ä¸ªåå ·ï¼åå ·ä¸çæ¶å±ååï¼å ¶æ²ç§¯é度æ¯å¸¸è§CVDæ³å¿«1000åãæ¤æ³ææçéåç³æ¶å±ä¸åºä½ä¹é´äº§ççæ£çå¶éç»åï¼æ¶å±å¼ºåº¦é«ï¼å¯é²æ¢æ¶å±è±è½ãé¾è£åè£çº¹ç缺é·ãCemeConå ¬å¸å ·æç¹è²çCVDéåç³æ¶å±ææ¯ï¼2000年建ç«ç产线ï¼ä½¿éåç³æ¶å±ææ¯è¾¾å°å·¥ä¸åç产水平ï¼å ¶ææ¯å«éé«ï¼å¯ä»¥æ¹éç产éåç³æ¶å±ã
ç±»éåç³æ¶å±å¨å¯¹æäºææ(AlãTiåå ¶å¤åææ)çæºæ¢°å å·¥æ¹é¢å ·æææ¾ä¼å¿ãéè¿ä½åæ°ç¸æ²ç§¯çç±»éåç³æ¶å±ï¼å ¶å¾®è§ç»æä¸å¤©ç¶éåç³ç¸æ¯ä»æè¾å¤§å·®å¼ãä¹å年代ï¼å¸¸éç¨æ¿æ´»æ°¢åå¨ä¸çä½åæ°ç¸æ²ç§¯DLCï¼æ¶å±ä¸å«æ大éæ°¢ãå«æ°¢è¿å¤å°éä½æ¶å±çç»ååå硬度ï¼å¢å¤§å åºåãDLCä¸çæ°¢å¨è¾é«ç温度ä¸ä¼æ ¢æ ¢éæ¾åºæ¥ï¼å¼èµ·æ¶å±å·¥ä½ä¸ç¨³å®ãä¸å«æ°¢çDLC硬度æ¯å«æ°¢çDLCé«ï¼å ·æç»ç»ååãå¯å¤§é¢ç§¯æ²ç§¯ãææ¬ä½ã表é¢å¹³æ´çä¼ç¹ï¼å·²æ为è¿å¹´æ¥DLCæ¶å±ç 究ççç¹ãç¾å½ç§å¦å®¶A.A.Voevodinæåºæ²ç§¯è¶ 硬DLCæ¶å±çç»æ设计为Ti-TiC-DLC梯度转åæ¶å±ï¼ä½¿ç¡¬åº¦ç±è¾è½¯çé¢åºä½éæ¸æé«å°è¡¨å±è¶ 硬çDLCæ¶å±ãè¿ç±»å¤åæ¶å±æ¢ä¿æäºé«ç¡¬åº¦åä½æ©æ¦ç³»æ°ï¼åéä½äºèæ§ï¼æé«äºæ¿è½½åãç»ååå磨ææåãæ¥æ¬ä½åå ¬å¸æ¨åºäºå¨ç¡¬è´¨åéåçä¸æ¶è¦éåç³DLCçDL1000æ¶å±ï¼ç¨äºååéåéåéééå±ï¼æç²ç»ï¼è½ææéä½å·²å 工表é¢çç²ç³åº¦ã
ç»è¿å¤å¹´çç 究表æï¼ç±äºç±»éåç³æ¶å±çå åºåé«ãç稳å®æ§å·®åä¸é»è²éå±é´ç触åªæåºä½¿SP3ç»æåSP2转åç缺ç¹ï¼å³å®äºå®ç®ååªè½åºç¨äºå å·¥æè²éå±ï¼å èéå¶äºå®å¨æºå å·¥æ¹é¢çè¿ä¸æ¥åºç¨ãä½æ¯è¿å¹´æ¥çç 究表æï¼ä»¥SP2ç»æ为主çç±»éåç³æ¶å±(ä¹ç§°ä¸ºç±»ç³å¢¨æ¶å±)硬度ä¹å¯è¾¾å°20ï½40GPaï¼å´ä¸åå¨ä¸é»è²éå±èµ·è§¦åªæåºçé®é¢ï¼å ¶æ©æ¦ç³»æ°å¾ä½åæå¾å¥½çæ湿æ§ï¼ååæ¶å¯ä»¥ç¨å·å´åä¹å¯ç¨äºå¹²ååï¼å ¶å¯¿å½æ¯æ æ¶å±åææåçæé«ï¼å¯ä»¥å å·¥é¢éææï¼å èå¼èµ·äºæ¶å±å ¬å¸ãåå ·å家çæå¤§å ´è¶£ãå以æ¶æ¥ï¼è¿ç§æ°åçç±»éåç³æ¶å±å°ä¼å¨ååé¢åå¾å°å¹¿æ³çåºç¨ã
2.ç«æ¹æ°®å硼(CBN)æ¶å±
CBNæ¯ç»§äººå·¥åæéåç³ä¹ååºç°çå¦ä¸ç§è¶ 硬ææï¼å®é¤äºå ·æ许å¤ä¸éåç³ç±»ä¼¼çä¼å¼ç©çãåå¦ç¹æ§ï¼å¦è¶ é«ç¡¬åº¦ï¼ä» 次äºéåç³ï¼é«è磨æ§ï¼ä½æ©æ¦ç³»æ°ï¼ä½çè¨èç³»æ°çï¼å¤ï¼åæ¶è¿å ·æä¸äºä¼äºéåç³çç¹æ§ãCBN对äºéãé¢åæ°§åç¯å¢å ·æåå¦æ°æ§ï¼å¨æ°§åæ¶å½¢æä¸èå±æ°§å硼ï¼æ¤æ°§åç©ä¸ºæ¶å±æä¾äºåå¦ç¨³å®æ§ï¼å æ¤å®å¨å 工硬çéæãç°é¸éæ¶èçæ§ä¹æ为ä¼è¯ï¼å¨ç¸å½é«çåå温度ä¸ä¹è½ååèçé¢ãæ·¬ç«é¢ãéåéç,并è½ååé«ç¡¬åº¦çå·ç¡¬è½§è¾ãæ¸ç¢³æ·¬ç«ææ以å对åå ·ç£¨æé常严éçç¡ éåéçé¾å å·¥ææã
èª1987å¹´Inagawaçæåå°å¶å¤äºåºçº¯çCBNæ¶å±ä»¥æ¥ï¼å¨å½é ä¸æèµ·äºCBN硬质æ¶å±çç 究çæ½®ãä½åæ°ç¸åæCBNæ¶å±çæ¹æ³ä¸»è¦æCVDåPVDæ³ãCVDå æ¬åå¦è¾è¿PCVDï¼çä¸è¾ å©å çPCVDï¼ECRï¼CVDçï¼PVDåæååºç¦»åæéãæ´»æ§ååºè¸éãæ¿å è¸é离åæè¾ å©æ²ç§¯æ³çãç 究ç»æ表æï¼å¨åæCBNç¸ã对硬质åéåºä½çè¯å¥½ç²ç»ååéç硬度çæ¹é¢å·²åå¾äºè¿å±ï¼ç®åæ²ç§¯å¨ç¡¬è´¨åéä¸çç«æ¹æ°®å硼æå¤§ä» ä¸º0.2ï½0.5μmï¼è¥æ³è¾¾å°åååï¼åå¿ é¡»éç¨å¯é çææ¯æ¥æ²ç§¯é«çº¯çç»æµçCBNæ¶å±ï¼å ¶å度åºå¨3ï½5μmï¼å¹¶å¨å®é éå±ååå å·¥ä¸è¯å®å ¶ææã
3.CNxæ¶å±
äºåä¸ä»£å «å年代ï¼ç¾å½ç§å¦å®¶LiuåCohen设计äºç±»ä¼¼Î²-Si3N4æ°åååç©Î²-C3N4ï¼éç¨åºä½ç©çåéååå¦ç论ï¼è®¡ç®åºå®ç硬度å¯è½è¾¾å°éåç³ï¼è¿å¼èµ·äºä¸çåå½ç§å¦å®¶çå ³æ³¨ãåææ°®å碳æ为ä¸çææç§å¦é¢åççé¨è¯¾é¢ãæ¥æ¬Okayama大å¦çFFujimotoéç¨çµåæè¸å离åæè¾ å©æ²ç§¯æ³è·å¾çæ°®å碳æ¶å±è¾¾å°63.7Gpaãæ¦æ±å¤§å¦åæçæ°®å碳硬度åå«è¾¾å°50GPaï¼å¹¶æ²ç§¯å°é«éé¢éº»è±é»ä¸ï¼è·å¾é常好çé»åæ§è½ãåææ°®å碳ç主è¦æ¹æ³æçæµåå°é¢ååºæº å°æ³ãæ¿å è¸åå离åæè¾ å©æ²ç§¯æ³ECRï¼CVDæ³ãå离åææ²ç§¯æ³çã
éåç³æ¶å±æ¯æ°ååå ·æ¶å±ææä¹ä¸ãå®å©ç¨ä½ååå¦æ°ç¸æ²ç§¯ææ¯å¨ç¡¬è´¨åéåºä½ä¸çé¿åºä¸å±ç±å¤æ¶ç»æçéåç³èï¼ç¨å ¶å å·¥ç¡ éåéåéåéçæè²éå±ãç»ç纤维çå·¥ç¨ææå硬质åéçææï¼åå ·å¯¿å½æ¯æ®é硬质åéåå ·ç50ï½100åãéåç³æ¶å±éç¨äºè®¸å¤éåç³åæææ¯ï¼ææ®éçæ¯çä¸æ³ã微波ç离åæ³åDCç离åå·å°æ³ãéè¿æ¹è¿æ¶å±æ¹æ³åæ¶å±çç²ç»ï¼å·²ç产åºéåç³æ¶å±åå ·ï¼å¹¶å¨å·¥ä¸ä¸å¾å°äºåºç¨ã
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