如题所述
铝源含杂质过多，一般纯度应该是4个9或5个9以上。
镀膜机真空度不达标，应该达到10的-7次帕。（记不清了可能有错）
镀膜物品的清洗不彻底，表面残留有清洗剂和水等等。
镀膜物品的表面温度不合理，温度过高或过低。
镀膜物品的电位设置不合理。
真空扩散泵应该换油。
调节蒸发源的温度，不可过低或过高。
若是电子束蒸发，还要调节电子束轰击位置，
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